产品描述
多片水平放置晶圆盒 8英寸/12英寸 高存储密度 高抗震强度
可定制尺寸
产品摘要
多片水平放置晶圆盒是一种常见的晶圆存储和运输方式。多片水平放置晶圆盒是半导体制造行业中常见的重要工艺设备,其设计兼顾了存储密度、保护性、搬运便利性和洁净度等多方面因素。它在晶圆的存储、运输和生产管理中发挥着重要作用。多片水平放置晶圆盒在晶圆的存储、运输、生产以及fab管理的各个环节发挥着关键作用,是半导体制造不可或缺的重要设备之一。其先进的设计有助于提高整个生产过程的效率和质量。
产品展示
产品参数
产品特性
水平放置设计:多片晶圆盒采用水平放置的方式,这样可以更有效地利用空间,并且有利于晶圆的搬运和存储。
多层存放:这种晶圆盒通常可以容纳多达25片或更多的8英寸或12英寸晶圆。多层设计大大提高了存储密度。
保护性强:晶圆盒采用坚固的材质,如聚碳酸酯或金属,可以很好地保护晶圆免受机械损坏、静电、尘埃等因素的影响。
易于搬运:多片晶圆盒设有手柄或抓手设计,使得搬运和装卸更加方便。同时,多片设计也使得整体重量更加可控。
清洁度高:晶圆盒内部采用洁净室标准的设计,可以维持晶圆表面的高洁净度。
可溯源性:晶圆盒通常会有独特的编号或标识,有利于晶圆的跟踪和质量管理。
产品应用
晶圆存储:晶圆厂商和设备供应商会使用多片晶圆盒来存储生产过程中的各个阶段的晶圆。这种方式可以有效地保护晶圆,并且便于管理。
晶圆运输:在不同生产场地之间转运晶圆时,多片水平放置晶圆盒是首选的运输容器。它可以确保晶圆在运输过程中的安全性。
晶圆生产:在晶圆fab内部的各个工艺环节中,如光刻、离子注入、蚀刻等,多片晶圆盒被广泛应用于在制品的中转和运送。这有利于提高生产效率。
洁净室管理:多片晶圆盒的设计符合洁净室标准,可以维持晶圆表面的洁净度。这对于precision制造至关重要。
自动化生产:多片晶圆盒与自动化设备如机器人完美配合,有利于推进晶圆fab的自动化生产。
质量追溯:每个晶圆盒都有独特的编号,有利于对晶圆进度、异常和质量问题的追溯和分析。